電子級三氯氧磷競爭格局與驅(qū)動因素
電子級三氯氧磷(6N、7N),又稱高純?nèi)妊趿祝饕糜诩呻娐?IC)生產(chǎn)和晶硅太陽能電池精細(xì)加工中PN結(jié)制作的摻雜劑,作為五價元素磷(P)擴散源。磷源有多種,氣體源主要是磷烷(PH3),固體源主要是五氧化二磷(P2O5),液體源主要是三氯氧磷(POCl3)。它的純度對集成電路(IC)和多晶硅太陽能電池的成品率、電性......

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